集成电路应用杂志社

摘要：阐述针对集成电路工厂特种气体的应用情况、特性分类及供应系统形式，分析特气供应系统的运行电耗，探讨其用电需求与理论用电量计算方法，并对当前供电配置现状进行分析，提出优化建议。

关键词： 集成电路制造;特种气体;供应系统;用电量分析;

DOI： 10.19339/j.issn.1674-2583.2025.10.024

专辑： 信息科技

专题： 无线电电子学

分类号： TN405