集成电路应用杂志社

摘要：阐述集成电路精密的纳米级制造工艺使集成电路制造设备成为集成电路领域的关键。探讨薄膜工艺设备中的ALD(Atomic Layer Deposition)制程，以及通过改造优化设备制程中副产物凝结的问题，以确保设备的可持续运行。

关键词： 集成电路制造;薄膜工艺;ALD;

DOI： 10.19339/j.issn.1674-2583.2025.10.025

专辑： 信息科技

专题： 无线电电子学

分类号： TN405