集成电路应用杂志社

摘要：阐述一种基于大数据技术的质量控制系统设计。该系统包括数据采集与预处理、算法分析以及反馈优化模块，通过多源数据融合实现对工艺过程的实时监测与优化。实验结果表明，系统可有效提升数据完整性和缺陷检测精度，同时通过反馈机制有效提高良品率并降低生产成本。

关键词： 集成电路制造;大数据分析;质量控制;

基金资助： 江西省无人感知系统与人工智能技术工程研究中心开放基金课题（2025KFJJ24）；

DOI： 10.19339/j.issn.1674-2583.2025.10.026

专辑： 信息科技

专题： 无线电电子学;计算机软件及计算机应用

分类号： TN405;TP311.13