集成电路应用杂志社

摘要：阐述针对集成电路制造中工艺、设备及产品性能等异常检测难题，探讨融合监督分类、无监督降维与半监督增强的集成算法（如SVM、随机森林、PCA等），以应对数据质量、模型可解释性及实时性方面的挑战。

关键词： 集成电路制造;异常检测;机器学习;数据处理;实时算法;

DOI： 10.19339/j.issn.1674-2583.2025.10.027

专辑： 信息科技

专题： 无线电电子学;自动化技术

分类号： TP181;TN405