集成电路应用杂志社

摘要：阐述纳米探针在集成电路先进制程阻抗性失效分析中的应用。针对晶体管栅极高阻、金属互联层通孔（Via）高阻以及栅极与源漏端漏电造成的失效，借助纳米探针不同的测试分析手段，实现精确定位，并结合物性分析手段，明确失效原因。

关键词： 集成电路;失效分析;纳米探针仪;高阻;PI-V;EBIRCH;

DOI： 10.19339/j.issn.1674-2583.2025.05.031

专辑： 信息科技;工程科技Ⅰ辑

专题： 材料科学;无线电电子学

分类号： TN405;TB383.1